无尘车间-洁净室标准分类及优缺点
无尘车间-洁净室标准分类级优缺点
空气由空调箱经风管与无尘车间内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由无尘车间两侧隔
间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁
净室等级1,000-100,000级。
用无尘工作台，提高无尘车间等级。
运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。
层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高
尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。
高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
麻烦。
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区 与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此
度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之
洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业
界均适用。
产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；即属此类。
(5)洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10M2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。