1. 气流方式 有层流式（垂直、水平）、乱流式、溷流式、隧道式，各有各的特长，考虑使用目的而决定之。
2. 洁淨度 无尘室的洁淨度是依据製品所要求的精度来决定。 洁淨度的水准是依据气流方式、换气次数、室内 压力等经充分检讨后之结果。
3. 设计面 设计面的决定需考虑其作业性及满足洁淨度的需 求。与发尘多之作业需隔离开。另外也必须将人 、物的出入口、通路、实用性、保养等列入总合 检讨。
4. 构造、材料 室内的表面构造须儘可能平滑，不要造成气流溷 乱及尘埃的蓄积。选择发尘少、不易付着粒子、 容易清扫的材料。另依作业内容不同，有时要使 用有耐药品性、耐湿性、耐火性的材料。
5. 附属装置 构成无尘室的周边装置，有控制发尘、保持压力的空 气浴尘室（人进入室内用）、传递箱（物品出入用）、 正压风门（调整室内压力）及保管物品、无尘服的 洁淨柜、无尘衣柜…等。各相关机能都必须充分理。
6.人员和物品的管理 作业员、由外部带入的物品是最大的发尘源。包含 无尘衣或化妆的问题等，作业员必须使其具备无尘室相关的基本知识。
7.实用性
8.安全对策及紧急设备